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以電子迴旋共振化學氣相沉積法沉積類鑽薄膜之研究
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1 作品在 1 項出版品 1 種語言
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以電子迴旋共振化學氣相沉積法沉積類鑽薄膜之研究 = A Study of Diamond-like Carbon Films Deposited by Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition
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(書目-語言資料,印刷品)
主題
以電子迴旋共振化學氣相沉積法沉積類鑽薄膜之研究
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