半導體蝕刻術之雷射光顯微製造系統
劉容生

 

  • 半導體蝕刻術之雷射光顯微製造系統
  • 紀錄類型: 書目-語言資料,印刷品 : 單行本
    作者: 劉容生,
    其他團體作者: 劉海北 李健仲
    出版地: 臺北市
    出版者: 行政院國科會光電小組;
    出版年: 民81 年
    版本: 十四版
    面頁冊數: 101圖 : 21公分;
    附註: 感謝詞 參考文獻
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