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Fundamentals of microfabrication

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Madou, Marc J.

Fundamentals of microfabrication

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : 單行本
作者:	MadouMarc J.,
出版地:	Boca Raton, Fla.
出版者:	CRC Press;
出版年:	c1997
面頁冊數:	589 p., [22] p. of platesill. (some col.) : 29 cm.;
標題:	Microelectronics - Design and construction -
標題:	Machining -
標題:	Microelectronic packaging -
標題:	Lasers - Industrial applications -
ISBN:	0-8493-9451-1

Fundamentals of microfabrication
Madou, Marc J.

Fundamentals of microfabrication = : / Marc Madou ; - Boca Raton, Fla. : CRC Press, c1997. - 589 p., [22] p. of plates ; ill. (some col.) ; 29 cm..
Includes bibliographical references (p. 565-569) and index.
ISBN 0-8493-9451-1
MicroelectronicsMachiningMicroelectronic packagingLasers -- Design and construction -- Industrial applications

Fundamentals of microfabrication
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621.38152/M183

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