語系:
繁體中文
English
簡体中文
說明(常見問題)
圖書館個人資料蒐集告知聲明
登入
回首頁
切換:
標籤
|
MARC模式
|
ISBD
EUV lithography
~
Bakshi, Vivek.
EUV lithography
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : 單行本
其他作者:
BakshiVivek.,
出版地:
Bellingham, Wash.
出版者:
SPIE Press;
出版年:
c2009.
面頁冊數:
xxvii, 673 p.ill., ports. : 27 cm.;
標題:
Optical coatings. -
標題:
Photolithography. -
標題:
Ultraviolet radiation - Industrial applications. -
ISBN:
0470471557
EUV lithography
EUV lithography
= : / Vivek Bakshi, editor. ; - Bellingham, Wash. : SPIE Press, c2009.. - xxvii, 673 p. ; ill., ports. ; 27 cm..
Includes bibliographical references and index..
ISBN 0470471557ISBN 0819469645ISBN 9780470471555ISBN 9780819469649
Optical coatings.Photolithography.Ultraviolet radiation -- Industrial applications.
Bakshi, Vivek.
EUV lithography
LDR
:00720cam2 2200241 050
001
152429
005
20100518232755.0
009
00230718
010
1
$a
0470471557
$b
Wiley : bd.
010
1
$a
0819469645
$b
SPIE : bd.
010
1
$a
9780470471555
$b
Wiley : bd.
010
1
$a
9780819469649
$b
SPIE : bd.
$d
NT3481
020
$b
2008018045
100
$a
20100529d2009 u z engy01 b
101
0
$a
eng
102
$a
us
105
$a
ac a 001yy
200
1
$a
EUV lithography
$f
Vivek Bakshi, editor.
$d
$e
$g
210
$a
Bellingham, Wash.
$c
SPIE Press
$d
c2009.
215
1
$a
xxvii, 673 p.
$c
ill., ports.
$d
27 cm.
320
$a
Includes bibliographical references and index.
606
$a
Optical coatings.
$2
lc
$3
111093
606
$a
Photolithography.
$2
lc
$3
111092
606
$a
Ultraviolet radiation
$x
Industrial applications.
$2
lc
$3
111090
676
$a
621.3815
$v
22
680
$a
QC459
$b
.E98 2009
702
1
$a
Bakshi
$b
Vivek.
$3
162029
801
0
$a
cw
$b
ctu
$c
20090804
$g
AACCR2
筆 0 讀者評論
館藏地:
全部
六樓西文書庫區
出版年:
卷號:
館藏
期刊年代月份卷期操作說明(Help)
1 筆 • 頁數 1 •
1
條碼號
典藏地名稱
館藏流通類別
資料類型
索書號
使用類型
借閱狀態
預約人數
期刊出刊日期 / 原館藏地 / 其他備註
附件
208394
六樓西文書庫區
圖書流通(BOOK_CIR)
BOOK
621.3815QC45/.E98 2009
一般使用(Normal)
書架上
0
六樓西文區
1 筆 • 頁數 1 •
1
評論
新增評論
分享你的心得
建立或儲存個人書籤
書目轉出
取書館別
處理中
...
變更密碼
登入