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Micro process engineering : fundamen...

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Kockmann, Norbert.

Micro process engineering : fundamentals, devices, fabricatio

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : 單行本
副題名:	fundamentals, devices, fabricatio
作者:	Kockmann, Norbert.
出版地:	Weinheim
出版者:	Wiley-VCH;
出版年:	c2006
版本:	1st ed
面頁冊數:	xxii, 507 p.ill. : 24 cm;
集叢名:	Advanced micro & nanosystems
標題:	Production engineering. -
標題:	Microtechnology. -
ISBN:	3-527-31246-3

Micro process engineering : fundamentals, devices, fabricatio
Kockmann, Norbert.

Micro process engineering = : fundamentals, devices, fabricatio / volume editor : Norbert Kockmann. ; - 1st ed. - Weinheim : Wiley-VCH, c2006. - xxii, 507 p. ; ill. ; 24 cm. - (Advanced micro & nanosystems ; ).
Includes bibliographical references and index..
ISBN 3-527-31246-3
Production engineering.Microtechnology.

Micro process engineering : fundamentals, devices, fabricatio
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