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[NT 60487] Overview
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书目信息
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主题
Elwenspoek, M. (1948-)
[NT 60487] Overview
作品:
1 作品在 1 项出版品 1 种语言
书目信息
Mechanical microsensors
by: Elwenspoek, M. (1948-); Wiegerink, Remco J. (1964-)
(書目-語言資料)
主题
Silicon.
Micromachining.
Transducers.
Detectors
Microelectromechanical systems
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